二维方型位置敏感探测器线性度的研究

被引：2

作者：

戚巽骏

林斌

林眉德

机构：

[1] 浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心

来源：

光学仪器 | 2006年 / 06期

关键词：

位置敏感探测器(PSD); 线性度; 位置误差; RC模型; 仿真;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP21 [自动化元件、部件];

学科分类号：

140102 [集成电路设计与设计自动化];

摘要：

研讨位置敏感探测器(PSD)的线性度问题,对影响二维方型结构PSD的线性度的三种因素,即边框区电阻率,负载电阻以及分流电阻的均匀分布进行模拟仿真实验研究,得到了相应的电流—位置图,并对其进行了分析,得出边框电阻和负载电阻越小,分流面电阻越均匀,从而线性度越好,位置误差也越小的结论,为进一步提高二维方型结构PSD的线性度提供了途径。

引用

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