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光干涉技术在纳米精度测量中的应用及发展
被引：10
作者：
黎永前
朱名铨
机构：
[1] 西北工业大学飞行器制造工程系
来源：
关键词：
纳米精度测量;
激光干涉;
校准技术;
D O I：
暂无
中图分类号：
TH744.3 [];
学科分类号：
摘要：
分析了几种应用于纳米精度测量的光干涉技术工作原理、应用限制及研究现状,包括X射线干涉仪、干涉仪及激光外差干涉技术。
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