荷兰光刻巨头崛起对我国发展核心技术的启示

被引：8

作者：

张金颖

安晖

机构：

[1] 工业和信息化部赛迪研究院电子信息产业研究所

来源：

关键词：

光刻机; 核心技术; 上下游企业; 台积电; 专利保护范围; EUV; 零部件; 技术壁垒; 利益共同体; 供货商; 产业技术链; 垂直整合; 研发制造;

D O I：

10.19609/j.cnki.cn10-1299/f.2019.z1.006

中图分类号：

F426.63 [];

学科分类号：

020205 ; 0202 ;

摘要：

光刻机是大规模半导体制造的核心设备。荷兰阿斯麦公司通过适时推动产品更新、专注关键技术攻关、打造上下游利益链、建立开放研究网络,在较短的时间内从激烈竞争中突出重围,成为光刻机领域的绝对龙头。

引用

页码：40 / 44

页数：5