非制冷长波红外焦平面列阵现状

被引：11

作者：

邵式平

机构：

[1] 昆明物理研究所!昆明，

来源：

红外与激光工程 | 1997年 / 04期

关键词：

测辐射热计; 热释电; 红外探测器; 焦平面列阵;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN21 [红外技术及仪器];

学科分类号：

0803 ; 080401 ; 080901 ;

摘要：

文章介绍了非制冷测辐射热计和铁电陶瓷焦平面列阵的现状，包含8万个非制冷氧化钒红外探测器的焦平面列阵已制成热像仪，系统的噪声等效温差（NETD）为0．04℃，不需要制冷和机械调制入射辐射。多晶硅热敏电阻和硅p－n结温差电堆焦平面列阵的研究工作取得了进展，用溅射和化学汽相淀积技术已制成128×128元硅薄膜测辐射热计焦平面列阵，单元探测器的探测率为1×109cmHzW－1；128×128元温差电堆焦平面列阵的NETD为0．5℃。利用热释电效应和介电常数温度变化的铁电陶瓷焦平面列阵制成的热像仪，NETD已达到0．047℃。

引用

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