用于减少漂移的纳米定位干涉仪集成系统

被引：2

作者：

吴健

林德教

殷纯永

郭继华

机构：

[1] 清华大学精密仪器与机械学系

[2] 清华大学应用物理系

来源：

中国激光 | 2002年 / 08期

关键词：

纳米定位; 表面等离子体共振; 特殊四面体棱镜;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH744.3 [];

学科分类号：

摘要：

基于表面等离子体共振 (SPR)的纳米定位装置可以实现纳米级的定位分辨率和重复性。通过设计特殊四面体棱镜 ,使四面体棱镜第一个反射面的入射角等于SPR的共振角 ,在该反射面上镀上金属膜 ,后面放置光纤探头构成SPR定位指零装置 ,实现了纳米定位装置和干涉仪系统的集成。干涉仪测量前利用SPR纳米定位系统确定一个零位 ,当发生漂移时回到定位零点进行读数校正 ,就可以减少干涉仪的漂移误差。建立了集成纳米定位装置的干涉仪系统。实验表明 ,干涉仪的测量不确定度从 70nm减小到 10nm ,提高了系统的测量精度和稳定性

引用

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