微机械及其加工综述

被引：6

作者：

吴敏镜

机构：

[1] 北京兴华机械厂

来源：

航天工艺 | 1997年 / 01期

关键词：

微机械加工; 扫描隧道显微镜; 超精密加工;

D O I：

暂无

中图分类号：

V261 [制造工艺过程及设备];

学科分类号：

082503 ;

摘要：

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页数：6

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