基于微结构制作的溶胶凝胶浸渍成膜特性

被引:1
作者
庞霖
严瑛白
金国藩
韦辉
郭履容
机构
[1] 清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室!北京
[2] 四川大学物理系信息光学研究中心!成都
基金
中国博士后科学基金;
关键词
微光学元件; 溶胶凝胶; 浸渍提拉;
D O I
暂无
中图分类号
O484.1 [薄膜的生长、结构和外延];
学科分类号
摘要
针对制作溶胶 凝胶 (sol gel)微光学元件的需要 ,对溶胶 凝胶浸渍提拉成膜过程中膜厚、均匀性等成膜特性进行了仔细考察。对于室温干燥情况 ,提拉成膜厚度与提拉速度的经验关系为 :低速时膜厚与提拉速度呈 1 2次幂关系 ;高速时则偏离以上关系 ,且随速度的增大 ,膜厚增加缓慢。对成膜过程的分析表明 ,挥发过程对溶胶 凝胶提拉成膜厚度的影响是重要的
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