铁电薄膜的微图形化研究

铁电薄膜在微电子和光电子技术中有着重要的或潜在的应用，可以制作随机存取存储器，热释电阵列探测器，铁电微电子机械系统等。在这些器件的制作过程中，铁电薄膜的微图形化是非常重要的一环。本文简要介绍了几种重要的铁电薄膜微图形化方法及有关研究结果，并比较了这些方法的优缺点。