TFT-LCD切割裂片工艺参数探讨

被引：29

作者：

李亚利 ^{[1
]}

张方辉 ^{[2
]}

机构：

[1] 陕西科技大学材料科学与工程学院

[2] 陕西科技大学电气与电子工程学院

来源：

液晶与显示 | 2006年 / 01期

关键词：

TFT-LCD; 刀轮角度; 下压量; 切割压力;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN141.9 [液晶显示器件];

学科分类号：

080901 ;

摘要：

研究了TFT-LCD切割裂片的原理,以及刀轮角度、切割压力、下压量等工艺参数对切割质量的影响。采用120°和130°两种不同角度的刀轮在切割速度300mm/s、刀轮下压量0.14mm的条件下进行切割,发现120°刀轮的切割深度比130°刀轮的要大5～10μm;当切割压力一定时,切割深度随下压量的增加而增加。在同样条件下,120°刀轮在切割压力为0.18MPa时出现横向微裂纹,130°刀轮在0.28MPa的切割压力下出现横向裂纹;可见刀轮角度越小,越容易出现横向裂纹。实验结果表明,压力是影响横向微裂纹产生的主要因素,而刀轮下压量对横向裂纹的产生没有太大影响。

引用

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