脉冲磁控真空计不拆卸测量方法研究

被引：5

作者：

廖从容

邹积岩

机构：

[1] 华中理工大学

来源：

高压电器 | 1997年 / 01期

关键词：

真空计; 脉冲; 线圈; 磁场;

D O I：

10.13296/j.1001-1609.hva.1997.01.006

中图分类号：

TB75 [真空获得技术及设备];

学科分类号：

摘要：

讨论了真空灭弧室真空度测量的一般方法及其缺陷,针对现有的脉冲磁控法只能拆卸测量的缺陷,设计了∏形线圈并给出了部分测量结果。

引用

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页码：20 / 23+56 +56

页数：5

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共 5 条

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