圆平膜压阻式力传感器的线性度与灵敏度分析

被引：7

作者：

吕惠民

田敬民

机构：

[1] 西安理工大学应用物理系

[2] 西安理工大学微电子系

来源：

半导体杂志 | 1997年 / 04期

关键词：

线性度,灵敏度,膜片;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

对圆平膜压阻式力传感器的线性度与灵敏度进行了比较详细地刨析。并通过计算，列举大量数据，指出影响压力传感器的线性度与灵敏度的因素及提高压力传感器的线性度与灵敏度的有效途径。

引用

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共 4 条

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