应用于大功率激光二极管列阵的单片集成微通道制冷热沉(英文)

被引:6
作者
马杰慧
方高瞻
蓝永生
马骁宇
机构
[1] 中国科学院半导体研究所国家光电子工程中心
[2] 中国科学院半导体研究所国家光电子工程中心 北京
关键词
微通道; 单片集成; AIN;
D O I
暂无
中图分类号
TN365 [半导体激光器件];
学科分类号
0803 ;
摘要
介绍了一种应用于大功率激光二极管列阵的新型单片集成微通道制冷热沉.这种热沉已制造并经过测试.10 叠层的激光二极管列阵的热阻为0 121℃/W.相邻两个激光条的间距是1 17mm.在20%高占空比条件下,波长为808nm左右,峰值功率可以达到611W.
引用
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共 3 条
[1]  
Modular microchannel cooled heatsinks for high average power laser diode arrays. Beach R,Benett W J,Rreitas B L et al. IEEE Journal of Quantum Electronics . 1992
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High performanceheatsinkingforVLSI. TuckermanD B,PeaseR F W. IEEE ElectronDeviceLett . 1981
[3]  
Demonstration of high-performance silicon microchannel heat exchangers for laser diode array cooling. Mundinger D,Beach R,Benett W,et al. Applied Physics Letters . 1988