基于MEMS技术的微型电场传感器设计与仿真

被引：4

作者：

裴强

夏善红

龚超

白强

陈绍凤

机构：

[1] 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室

[2] 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室北京

[3] 北京

来源：

微纳电子技术 | 2003年 / Z1期

关键词：

微电子机械系统; 微型; 电场传感器;

D O I：

10.13250/j.cnki.wndz.2003.z1.116

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

报道了一种新型的基于MEMS技术的微型电场传感器。该传感器采用半导体微加工工艺制备 ,具有体积小、重量轻、功耗低等优点。阐述了传感器的工作原理 ,描述了设计方案 ,介绍了计算机模拟仿真结果

引用

页码：388 / 390

页数：3

共 11 条

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