半导体激光微小振动实时干涉测量仪

被引：11

作者：

宋松

王向朝

王学锋

钱锋

卢洪斌

机构：

[1] 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学研究实验室!上海,中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学研究实验室!上海,中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学研究实验室!上海,中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学研究实验室!上海,中国科

来源：

光学学报 | 2001年 / 05期

关键词：

实时测量; 光学检测; 干涉仪; 半导体激光器;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH744.5 []; TN247 [光检测技术];

学科分类号：

0803 ; 080401 ; 080901 ;

摘要：

设计了一种半导体激光干涉测量仪 ,可以实时测量物体的微小振动。通过信号处理电路对干涉信号进行分析 ,得到实际振动的振幅和频率。给出了具体的理论分析。实验结果验证了该干涉仪的实用性。

引用

页码：578 / 580

页数：3

共 3 条

[1] 使用相位共轭光精密测量粗糙面物体的振动振幅 [J].

王向朝 ;

佐々木修己 ;

菊地崇朗 ;

铃木孝昌 ;

于丹阳 ;

王学锋 ;

方祖捷 .

光学学报, 2000, (04) :525-528

[2] 藕断面光学相干层析成像 [J].

宋桂菊 ;

王向朝 ;

张莲英 ;

张位在 ;

任宏武 ;

方祖捷 .

中国激光, 2000, (01) :83-86

[3] 光热调制半导体激光波长降低干涉测量误差 [J].

王学锋 ;

王向朝 ;

钱锋 ;

陈刚 ;

陈高庭 ;

方祖捷 .

光电工程, 1999, (05) :1-3

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