基于压电陶瓷驱动的精密定位平台研究

被引：8

作者：

王华

张宪民

邓俊广

机构：

[1] 华南理工大学机械工程学院

来源：

测试技术学报 | 2007年 / 04期

基金：

广东省自然科学基金;

关键词：

精密定位; 压电驱动; 柔性较链; 模糊自整定; 实验修正;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH703 [结构];

学科分类号：

摘要：

设计了一种基于压电陶瓷驱动的整体式柔顺精密定位平台.建立了柔性铰链的刚度矩阵,给出了平台的理论分析模型;利用模糊自整定PID控制算法对压电陶瓷驱动器进行了闭环控制,提高了驱动器的输出位移精度;提出了一种实验修正方法,提高了平台的定位精度.实验结果表明,平台具有亚微米级的定位精度以及良好的动态特性.

引用

页码：295 / 300

页数：6

共 13 条

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