共路外差表面轮廓仪

被引:5
作者
韩昌元
刘斌
卢振武
张晓辉
顾去吾
机构
[1] 中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室,中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室,中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室,中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室,中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室长春,长春,长春,长春,长春
关键词
表面轮廓仪; 外差; 粗糙度;
D O I
暂无
中图分类号
学科分类号
摘要
本文提出了一种改进的外差共路干涉仪,用于表面粗糙度的测量,它对机械振动、温度变化等极不敏感,纵向分辨率为0.1nm,可用于表面粗糙度的实际检测工作.
引用
收藏
页码:670 / 672
页数:3
相关论文
共 3 条
[1]  
C.C.Huang,Optical heterodyne profilometer. Optical Engineering . 1984
[2]  
Stylus profiling instrument for measuring statistical properties of smooth optical surfaces. J.M.Bennett,J.H.Dancy. Applied Optics . 1981
[3]  
Heterodyne profiling instrument for the angstrom region.1986,Appl. D.Pantzer et al. Optica Acta .