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矩阵码盘及其矩阵狭缝的检测
被引:1
作者
:
论文数:
引用数:
h-index:
机构:
李桂霞
机构
:
[1]
中科院长春光机所!长春
来源
:
应用光学
|
1997年
/ 01期
关键词
:
矩阵码盘;
矩阵狭缝;
测量误差;
检测;
D O I
:
暂无
中图分类号
:
TH74 [光学仪器];
学科分类号
:
0803 ;
摘要
:
在介绍矩阵码盘的基础上,分析常规矩阵码盘和非常规矩阵码盘码道图案方向的确定方法,提出矩阵码盘码道(横向)间相应关系误差的检测方法─—角量比较法和线量比较法以及矩阵码盘码道(纵向)间、圈间关系误差的检测方法,阐述了矩阵决缝间裂相相位关系、圈与圈之间关系误差的检测方法─—角量比较法和线量比较法,并分析不在同一刻划直径上的码间、圈间相位关系误差的检测方法,最后对测量误差进行了讨论。
引用
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页码:37 / 40
页数:4
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