矩阵码盘及其矩阵狭缝的检测

被引:1
作者
李桂霞
机构
[1] 中科院长春光机所!长春
关键词
矩阵码盘; 矩阵狭缝; 测量误差; 检测;
D O I
暂无
中图分类号
TH74 [光学仪器];
学科分类号
0803 ;
摘要
在介绍矩阵码盘的基础上,分析常规矩阵码盘和非常规矩阵码盘码道图案方向的确定方法,提出矩阵码盘码道(横向)间相应关系误差的检测方法─—角量比较法和线量比较法以及矩阵码盘码道(纵向)间、圈间关系误差的检测方法,阐述了矩阵决缝间裂相相位关系、圈与圈之间关系误差的检测方法─—角量比较法和线量比较法,并分析不在同一刻划直径上的码间、圈间相位关系误差的检测方法,最后对测量误差进行了讨论。
引用
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