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CMOS集成硅流量传感器
被引：6
作者：
童勤义
黄金彪
机构：
[1] 南京工学院
来源：
关键词：
CMOS;
传感器;
换能器;
电子技术;
加热电流;
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
本文介绍了一种流量传感器新的工作原理:当流体流过加热的芯片时,为保持芯片温度恒定所需功耗的改变,可以用来作为流体速度的量度。本文用CMOS工艺首次实现了这种原理的集成流量传感器。该传感器结构简单、尺寸小(1×1.9mm),灵敏度高(在芯片温度55℃、流体温度30℃、流速50cm/s时,输出达80mW)。
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