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无声放电等离子体及其应用
被引：13
作者：
凌一鸣
机构：
[1] 东南大学电子工程系
来源：
关键词：
无声放电,低温等离子体,气体放电;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN13 [气体放电器件、离子管];
学科分类号：
摘要：
无声放电等离子体是一种非平衡态等离子体，它可用于等离子体化学、紫外与真空紫外光源以及气体激光器激励等方面。本文将概要介绍无声放电及其应用的研究进展。
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