快速热处理对PZT薄膜的微结构及电性能的影响

被引：5

作者：

程晋荣

罗来青

孟中岩

机构：

[1] 上海交通大学材料学院!上海

[2] 上海大学材料科学与工程学院

[3] 上海

[4] 上海大学材料科学与工程学院!上海

来源：

功能材料 | 2000年 / 05期

关键词：

溶胶-凝胶; 快速热处理; PZT薄膜; 铁电性能;

D O I：

暂无

中图分类号：

TB43 [薄膜技术];

学科分类号：

0805 ;

摘要：

采用改进的溶胶 -凝胶技术 ,在Pt/Ti/TiO2 /SiO2 /Si( 1 0 0 )基片上制备了压电PZT薄膜 ,用XRD和AFM技术分析了不同热处理工艺条件下PZT薄膜的微观形貌变化及相结构演化 ,系统测试了PZT薄膜的铁电性能。工艺 -结构 -性能研究结果表明 :快速热处理工艺 (RTA )有利于PZT薄膜保持较低的漏电流密度 ,热处理温度是影响晶粒大小的主要因素 ,而保温时间则对PZT薄膜的致密性、晶粒均匀度和晶界结合状态以及PZT薄膜的铁电性能有明显影响。在优化热处理条件下 ,PZT薄膜的剩余极化值 (Pr)可达 2 7μC/cm2 ,漏电流密度为 1 0 -7A/cm2 。

引用

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