反应溅射TiC薄膜的微结构及力学性能

被引：5

作者：

邵楠

梅芳华

董云杉

李戈扬

机构：

[1] 上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室

[2] 上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室上海

[3] 上海

来源：

表面技术 | 2003年 / 03期

关键词：

TiC薄膜; 反应磁控溅射; 微结构; 力学性能;

D O I：

10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2003.03.004

中图分类号：

O484 [薄膜物理学];

学科分类号：

080501 ; 1406 ;

摘要：

采用反应磁控溅射法在不同的甲烷分压下制备了一系列的TiC薄膜 ,利用XRD和TEM表征了薄膜的相组成和微结构 ,用力学探针测量了薄膜的硬度和弹性模量 ,并利用AFM观察了薄膜的生长形貌和压痕形貌 ,研究了甲烷分压对薄膜相组成、微结构和力学性能的影响。结果表明 ,甲烷分压对薄膜的相组成、微结构和力学性能均有明显的影响 :低的甲烷分压下 ,制备的薄膜样品中有钛相的存在 ,薄膜的硬度和弹性模量较低 ;甲烷分压提高 0 .0 2～0 .0 4Pa左右 ,薄膜内形成晶粒细小的单相TiC ,并获得最高的硬度 ( 3 0 .9GPa)和弹性模量 ( 3 43GPa) ;进一步提高甲烷分压 ,薄膜呈现非晶态 ,其硬度和弹性模量亦随之降低

引用

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