微型风速风向传感器研制

被引：7

作者：

李艳杰

高成臣

文彬

机构：

[1] 中国电子科技集团公司第四十九研究所

来源：

关键词：

硅微桥; 风向; 风速; 传感器;

D O I：

10.13873/j.1000-97872003.03.009

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

阐述了微型风速风向传感器的工作原理,结构设计及工艺研究,该传感器采用硅微机械加工技术制成微悬桥结构,将加热电阻器与感温电阻器排布在悬桥上,降低了功耗,提高了传感器灵敏度,实现低风速风场测量。

引用

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