采用衍射、干涉技术提高光电轴角编码器的测角精度和分辨率

被引:13
作者
孔智勇
赵红颖
熊文卓
艾华
不详
机构
[1] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所!吉林长春
关键词
光电轴角编码器; 激光编码器; 衍射干涉;
D O I
暂无
中图分类号
TP212 [发送器(变换器)、传感器];
学科分类号
080202 ;
摘要
光电轴角编码器广泛应用于精密角位置的测量、数控及数显系统中 ,是国内外研究的热点。采用衍射、干涉技术的光电轴角编码器 (简称激光编码器 )具有结构紧凑、小型化 ;分辨率和测角精度高 ;响应频率高等优点。通过对几种激光编码器的成功方案的深入分析 ,阐述了这项技术的最新进展和所面临的问题。
引用
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