γ-Fe2O3烧结感应体的气敏特性

被引：3

作者：

彭军

朱兆宗

张鹤呜

来新泉

王彦新

杨刚亮

机构：

[1] 西北电讯工程学院微电子所

来源：

关键词：

Fe2O3; 气敏; 氧化铁; 晶变; 气敏特性; 感应体; 气敏器件;

D O I：

10.13873/j.1000-97871988.02.005

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

本文介绍γ-Fe2O3气敏感应体气敏特性的研究结果。研究表明, 烧结型γ-Fe2O3气敏感应体对丙烷等气体具有较高的灵敏度以及较好的选择性,具有良好的湿度特性。它的失效机理主要在于一定温度下转变为无气敏性的α-Fe-2O3。选择适当的添加剂及工艺处理可以推迟这种转变的发生。

引用

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