类金刚石薄膜作为HgCdTe红外器件增透膜和钝化膜的研究

采用高频等离子化学气相沉积法（ＲＦＣＶＤ）在ＨｇＣｄＴｅ红外器件上沉积类金刚石薄膜。俄歇电子能谱对ＤＬＣ／ＨｇＣｄＴｅ界面分析结果表明类金刚石薄膜中的碳原子对衬底材料影响较小，７０ｎｍ的类金刚石薄膜能抑制衬底组份的外扩散，而且具有纯度较高的类金刚石薄膜外表面层，是一种理想的钝化膜材料。红外透射光谱测试结果表明类金刚石薄膜在较宽的波长范围内（４ １２μｍ）具有明显的增透效应。