单模光纤探针粗糙度测量技术的研究

被引：2

作者：

鲍振武

刘剑飞

霍洪涛

机构：

[1] 天津大学电子信息工程学院!河北工业大学

[2] 天津

来源：

关键词：

粗糙度; 单模光纤探针; 轮廓调制; 智能化;

D O I：

10.13382/j.jemi.1999.01.005

中图分类号：

TH74 [光学仪器];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

本文根据表面轮廓调制原理，采用计算机控制的单模光纤探针扫描技术及相应的信号处理电路，提出了智能化光纤探针式轮廓仪。文中对仪器构成原理的有关理论基础及关键技术进行了介绍，最后利用本测量技术进行了实验测量，给出了实验结果及误差分析。

引用

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