共 1 条
PbTiO3薄膜的热释电特性研究
被引：1
作者：
卢朝靖
邝安祥
王世敏
黄桂玉
机构：
[1] 湖北大学物理系
[2] 湖北大学物理系 武汉
[3] 武汉
来源：
关键词：
PbTiO3薄膜;
介电;
热释电性质;
烧结温度;
膜厚;
D O I：
暂无
中图分类号：
O484.4 [薄膜的性质];
学科分类号：
080501 ;
1406 ;
摘要：
<正>铁电PbTiO3薄膜具有优良的热释电性质,因其有介电常数εr小、热释电系数γ大、居里温度高、体积热容量小、γ和εr的温度系数小等优点,受到人们的极大关注.国外已用溅射法制备的PbTiO3薄膜作成了热释电红外探测器.我们用sol-gel方法在单晶Si衬底上制备了PbTiO3薄膜,并简要报道了它的电学性质.本文着重研究 PbTiO3薄膜的热释电特性,主要介绍极化条件、烧结温度、膜厚等工艺因素对介电、热释电性质的影响,以及热释电系数随温度的变化关系,优化了工艺过程.
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页码：502 / 504
页数：3
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