未找到相关数据
高频感应放电的理论分析
被引：6
作者：
陈允明
机构：
[1] 中国科学院力学研究所
来源：
关键词：
理论分析;
输出特性;
阻抗匹配;
陈允明;
放电曲线;
高频振荡器;
射频振荡器;
高频感应;
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
本文利用拟渠道模型得到简明的分析表达式,求出了放电特性曲线;定义了高频振荡器的输出特性曲线,并作了计算;且由槽路参数将上述两曲线联系起来,定出工作点。为此可预先对任一种气体及高频机判断放电能否维持;可以讨论对工程实践至关重要的阻抗匹配问题以及功率放大规律;并指出π网络适用于氢等离子体而且得到实验证实。
引用
收藏
页码：165 / 172
页数：8
相关论文