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精密定位技术
被引：4
作者：
森山茂夫
胥尚焜
机构：
来源：
关键词：
定位误差;
丝杆;
压电元件;
移动范围;
定位精度;
直线传动装置;
高精度化;
闭环控制方式;
超精密定位;
精密定位技术;
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
<正> 一、精密定位与机械电子学近年来,随着电子仪器、光学装置和半导体零件等迅速向高精度化迈进,与之相应,特别在它们的制造技术领域中,精密定位技术显得越来越重要。例如,在最近的超 LSI 制造装
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