微波等离子烧结ZnO/Bi2O3系压敏电阻研究

被引：4

作者：

禹争光 ^{[1
]}

杨邦朝 ^{[2
]}

机构：

[1] 中国科学院电工研究所

[2] 电子科技大学微电子与固体电子学院

来源：

压电与声光 | 2006年 / 02期

关键词：

微波等离子; ZnO压敏电阻; 烧结; 漏电流;

D O I：

暂无

中图分类号：

TQ174 [陶瓷工业];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

采用常规微波和微波等离子对比烧结ZnO/Bi2O3系压敏电阻发现:两者均可快速成瓷,烧结时间由常规的20 h减少到45 min;烧结后,ZnO晶粒细小（约1μm）均匀,相比而言,等离子更有利于压敏电阻烧结。45 min等离子烧结后,压敏电阻瓷体密度为5.01 g/cm3,ZnO压敏电阻中已有尖晶石相（Zn7Sb2O12）生成,烧结时瓷体收缩均匀,漏电流小,但稳定度差。采用“液相掺杂”可以提高压敏电阻在微波等离子烧结后的电性能稳定度,液相加入比例范围为5%15%。

引用

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