新型大气压微波等离子体炬的仿真研究

被引：10

作者：

陈颖 ^{[1
]}

李承跃 ^{[1
]}

季天仁 ^{[2
]}

机构：

[1] 电子科技大学物理电子学院

[2] 成都纽曼和瑞微波技术有限公司

来源：

强激光与粒子束 | 2011年 / 23卷 / 10期

关键词：

微波等离子体炬; 大气压; HFSS软件; 探针; 电场强度;

D O I：

暂无

中图分类号：

O531 [产生];

学科分类号：

070204 [等离子体物理];

摘要：

设计了一种新型的大气压微波等离子体炬结构。入射主频为2 450MHz,基于HFSS软件对其进行了仿真研究。在仿真过程中,对该结构的各个参数进行了优化,并得出对场强分布的影响规律。结果表明,探针的使用对腔内场分布有很大影响。根据优化参数对微波等离子体炬进行了仿真模拟,在等离子体发生腔产生了高幅值的电场强度,品质因数达到2×104,可以在大气压下激发等离子体。

引用

页码：2715 / 2718

页数：4

共 5 条

[1]

大气压微波等离子体炬的仿真设计与实验 [J].