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厚膜TiO2氧敏传感器研究
被引：2
作者：
方湘怡
吴文超
郑彦升
武明堂
机构：
[1] 西安交通大学
来源：
关键词：
敏感材料，氧传感器，TiO2;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN304.21 [];
学科分类号：
0805 ;
080501 ;
080502 ;
080903 ;
摘要：
通过醇盐水解制备ＴｉＯ２微粉并用厚膜工艺制备氧敏传感器；用专门造孔技术增加了厚膜敏感体中的孔隙率；用液相掺杂热扩散工艺对多孔敏感膜进行了表面修饰，提高其催化活性，采用温度自补偿方法提高了器件的高温性能
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