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非晶态硅(a-Si)薄膜结构弛豫现象的观测
被引：1
作者：
何宇亮
周衡南
不详
机构：
[1] 不详
[2] 南京大学固体物理研究所
[3] 不详
[4] 南京大学固体物理研究所
[5] 不详
来源：
关键词：
薄膜结构;
a-Si;
特征峰;
非晶态;
衍射峰;
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
<正> 非晶硅薄膜的结构与制备条件及工艺过程有着密切的联系,它对薄膜的基本性质起着决定性作用。近几年来,我们使用常规X射线衍射手段对用G D法、CVD法及PCTD法淀积的a-Si薄膜结构和
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页数：2
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