金刚石涂层超精加工车刀的研制

被引:10
作者
杨巧勤,赵立华,李绍禄,杜海清
机构
[1] 湖南大学材料测试研究中心
关键词
金刚石涂层,超精加工,车刀;
D O I
暂无
中图分类号
TD874.1 [];
学科分类号
081901 ;
摘要
使用热丝CVD法研究了金刚石涂层生长速度、晶粒大小和结合强度与生长工艺参数的关系.在此研究基础上,选择氮化硅材料作为刀具基底材料,并优化生长工艺参数,使热丝CVD法生长金刚石膜的速度提高到20μm/h,膜层平均晶粒度<1μm,划痕临界载荷达到了50N.然后进行内应力消除及机械研磨、抛光,这样制成的超精加工刀具用来加工铝合金部件.被加工件的表面不平度<0.1μm,光洁度达到了12,加工光洁度与寿命达到了单晶金刚石刀具的水平.
引用
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