一种基于白光扫描干涉法表面形貌测量仪的研究

本文介绍了一种利用白光扫描干涉法测量表面三维形貌的仪器原理及其整体结构,分析了影响测量精度的主要因素,给出了最佳干涉位置的识别算法,并用实际测量结果加以论证。