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国外超微机电系统研究现状及其应用前景展望
被引：21
作者：
陈继生
机构：
[1] 电子部第研究所!上海
来源：
关键词：
超微机电系统;
表面超微加工技术;
光刻电铸技术;
超微静电电机;
D O I：
暂无
中图分类号：
TM38 [微电机];
学科分类号：
080206 [微纳机电工程];
摘要：
超微机电系统是由微米级零部(组)件构成的机电一体化产品,它应用前景广阔,涉及光学、医学、生物工程,微型机器人、微型汽车、微型仪器仪表、微型视频、视听装置及宇航等领域.本文就超微机电系统的发展、关键技术、驱动用超微静电电机及其应用前景展望做一扼要阐述,望能引起同行对此高新技术的重视,并可供作行业和企业制定产品发展规划参考.
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