非晶金刚石薄膜的拉曼光谱研究

被引：9

作者：

陈弟虎

魏爱香

周友国

范家海

杨增红

彭少麒

魏爱香

机构：

[1] 中山大学物理系!广州５１０２７５

[2] 海军广州舰艇学院!广州５１０４３１

来源：

无机材料学报 | 2000年 / 01期

关键词：

非晶金刚石薄膜; 拉曼光谱; 表面形貌;

D O I：

暂无

中图分类号：

O484 [薄膜物理学];

学科分类号：

080501 ; 1406 ;

摘要：

碳离子的能量是影响非晶金刚石薄膜结构和性质最关键的工艺参数．采用磁过滤真空溅射离子技术，研究不同衬底偏压Ｖｂ（即不同碳离子能量）下制备的非晶金刚石薄膜的拉曼光谱和表面形貌．结果表明：－５０Ｖ≤Ｖｂ≤－１０Ｖ时，样品表面均匀、光滑，拉曼谱是对称且很宽的散射带;Ｖｂ＞－１０Ｖ或Ｖｂ＜－５０Ｖ时，已有晶团出现，表面粗糙度明显增加，拉曼谱明显地分裂为１５８０ｃｍ－１的Ｇ带和１３５０ｃｍ－１的Ｄ带．

引用

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