脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积TiN和TiCN薄膜摩擦磨损特性研究

被引：19

作者：

马胜利

马大衍

王昕

徐可为

介万奇

机构：

[1] 西北工业大学凝固技术国家重点实验室

[2] 西安交通大学金属材料强度国家重点实验室

[3] 西北工业大学凝固技术国家重点实验室陕西西安

[4] 陕西西安

来源：

摩擦学学报 | 2003年 / 03期

关键词：

硬质薄膜; PCVD; 结合力; 摩擦磨损性能;

D O I：

10.16078/j.tribology.2003.03.003

中图分类号：

TG174.44 [金属复层保护];

学科分类号：

080503 ;

摘要：

对比研究了脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积TiN和TiCN薄膜的摩擦磨损特性,用扫描电子显微镜、X射线衍射仪及销-盘摩擦磨损试验机分析薄膜形貌和结合力,考察了不同沉积条件下2种薄膜的摩擦磨损过程及其影响因素.结果表明,TiCN薄膜具有较高硬度、良好的膜基结合力,相对于TiN薄膜而言表现出更低的摩擦系数和更好的耐磨性能.在实际使用中应注重成分和结构优化设计,以保证薄膜具有良优良的减摩性能.

引用

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