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应用双频激光干涉仪检验数控机床定位精度
被引：9
作者：
吴小川
机构：
[1] 资阳内燃机车厂!四川
来源：
关键词：
双频激光干涉仪;
定位精度;
检验;
D O I：
10.16731/j.cnki.1671-3133.2000.10.025
中图分类号：
TH74 [光学仪器];
学科分类号：
0803 ;
摘要：
介绍了应用双频激光干涉仪检验数控机床定位精度的原理、方法及测量误差分析。
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