变频法纳米级润滑膜厚度测量研究

被引：5

作者：

雒建斌

黄平

邹茜

温诗铸

机构：

[1] 清华大学摩擦学国家重点实验室

来源：

润滑与密封 | 1994年 / 01期

关键词：

光干涉; 单色仪; 纳米膜厚测量;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH117.2 [润滑];

学科分类号：

080203 ;

摘要：

采用平垫层与单色仪分频相结合的方法,得到了不同波长干涉图像。经过图像处理,使按此原理设计的NGY—1型膜厚测量仪实现了纳米量级的膜厚测量。并对测量仪进行了精度分析和实际测试。

引用

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页码：27 / 30+15 +15

页数：5

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共 2 条

[1]

应用物理光学.[M].严瑛白编;.机械工业出版社.1990,

[2]

摩擦学原理.[M].温诗铸编著;.清华大学出版社.1990,