新型微波ECR-PECVD装置的研制

被引：2

作者：

阴生毅

陈光华

粟亦农

张永清

机构：

[1] 北京工业大学材料科学与工程学院

[2] 中科院电子所微波器件中心

来源：

真空科学与技术学报 | 2004年 / 01期

关键词：

电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积; 波导; 磁场; 永磁体; Si:H薄膜;

D O I：

10.13922/j.cnki.cjovst.2004.01.008

中图分类号：

O539 [等离子体物理的应用];

学科分类号：

摘要：

介绍一台新型的ECR PECVD装置。这一装置设计和采用了一种由单个电磁线圈和永磁体单元组合的新型磁场 ,使整个装置结构明显简化。为提高装置的微波转换效率 ,通过计算机仿真微波场在等离子体室的分布 ,选择和采用了一种新型的矩形耦合波导。应用这一装置分解H2 稀释的SiH4气体以沉积a Si:H薄膜 ,获得了 2nm/s以上的高沉积速率

引用

页码：38 / 41

页数：4