计算机控制抛光成型抛物面

本文介绍用计算机控制一个小抛光模自动成型抛物面的理论、方法、试验装置与试验结果。分析和讨论了试验装置的结构与抛光工艺参数。用计算机模拟抛光法,确定了抛光过程。用双旋转抛光头按同心圆抛光轨迹使一个球面经过30.8小时连续抛修以后成型为一个Φ300mm、f/3.5的抛物面,用一台CQG-1型数字球面干涉仪与一块Φ300mm标准平面镜形成的立式检验系统对抛光试验的抛物面进行检测,检测的初步结果为λ/8[rms]面形精度(λ=632.8nm)。最后,对研究的结果作了有益的讨论。