超精密加工及其关键技术的发展

超精密加工是现代制造技术的一个重要组成部分 ,是众多大型系统实现简化设计和扩展功能的必要基础。几十年来 ,超精密加工技术在精度和手段上都有了质的飞跃。依据超精密机床各子系统的功能特点 ,介绍了超精密加工的共性技术及其最新发展动态 ,最后阐述了提高超精密加工精度的途径和方法。