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含钨类金刚石薄膜的制备与性能研究
被引：15
作者：
牛孝昊
罗庆洪
杨会生
陆永浩
熊小涛
王燕斌
机构：
[1] 北京科技大学材料物理与化学系
来源：
关键词：
掺钨类金刚石薄膜;
硬度;
摩擦系数;
等离子增强化学气相沉积;
D O I：
暂无
中图分类号：
TB43 [薄膜技术];
学科分类号：
080101 [一般力学与力学基础];
摘要：
为了满足制备较厚低摩擦系数类金刚石薄膜(DLC)耐磨镀层的实际需求,对在等离子增强化学气相沉积的类金刚石薄膜(W-DLC)中掺钨进行了系统研究。研究结果表明,类金刚石薄膜掺入钨,在较宽的工艺条件范围内,都可以沉积厚度超过5μm的薄膜而不发生剥落。适当控制工艺条件和膜中钨的含量可以提高薄膜的硬度,降低磨损率,且保持低的摩擦系数和较高的沉积速率。
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