微小球面曲率半径的测量研究

被引：24

作者：

徐永祥

陈磊

朱日宏

李新华

机构：

[1] 南京理工大学电光学院

来源：

仪器仪表学报 | 2006年 / 09期

关键词：

显微干涉; 移相干涉术; 算法; 曲率半径; 光纤连接器;

D O I：

10.19650/j.cnki.cjsi.2006.09.042

中图分类号：

TG806 [技术测量方法];

学科分类号：

摘要：

验证了测量平面面形误差的重叠四步平均算法(OAF)应用于测量微小球面曲率半径的可行性。采用Linnik显微移相干涉装置,测量了光纤连接器端面的曲率半径,给出了测量数据及处理结果;通过对已知曲率半径的标准微小凸球面样板的测量,得到相对误差为0.093%。同时,从理论上对OAF和其他算法对PZT位移误差的抑制能力作了分析比较。结果表明,OAF算法可用于微小球面曲率半径的测量,且相对于其他算法而言,其对PZT位移误差具有更强的抑制能力。

引用

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