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金刚石薄膜
被引：11
作者：
满卫东
机构：
[1] 中国科学院合肥等离子体物理研究所
来源：
关键词：
金刚石薄膜;
金刚石膜;
燃烧火焰法;
D O I：
暂无
中图分类号：
TB43 [薄膜技术];
学科分类号：
0805 ;
摘要：
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