MEMS加速度计温漂预测补偿模型

被引：12

作者：

徐哲 ^{[1
,2
]}

刘云峰 ^{[1
]}

董景新 ^{[1
]}

机构：

[1] 清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室

[2] 总参陆航研究所

来源：

中国惯性技术学报 | 2012年 / 20卷 / 05期

关键词：

微机械加速度计; 温漂; 滞环; 曲面拟合; 支持向量机; 相关向量机;

D O I：

10.13695/j.cnki.12-1222/o3.2012.05.016

中图分类号：

TH824.4 [];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

温度漂移是影响MEMS加速度计实用效能的关键问题,为提高加速度计的精度和使用范围,需对温漂进行建模和补偿。首先通过温度循环试验对MEMS加速度计温漂特性进行了分析,然后分别采用曲面拟合法、SVM模型和RVM模型建立了温漂预测补偿模型,最后应用环境温度试验数据对模型进行检验和验证。结果表明:三种方法均能够有效的预测加速度计温漂,补偿后的温漂滞环开口由60 mg分别下降到5 mg、10 mg、15 mg。曲面拟合法简单、精度高,但对系统重复性要求高,且对噪声比较敏感;SVM模型法计算能力强,但计算量较大,模型参数较多;RVM模型法模型参数较少,计算量小,但训练时间较长,且预测精度不如其他两种方法高。

引用

页码：601 / 604+610 +610

页数：5

共 7 条

[1]

Design of low-noiseCMOS MEMS accelerometer with techniques for thermalstability and stable DC biasing. Tan S S,Liu C Y,Yeh L K,et al. Custom IntegratedCircuits Conference(CICC) . 2010

[2]

Analysis, Modeling and Compensation of Bias Drift in MEMS Inertial Sensors. GULMAMMADOV F. 2009 4th International Conference on Recent Advances in Space Technologies . 2009

[3]

Navi-gation grade mems accelerometer. Zwahlen Pascal,Nguyen Anne-Marie,Dong Yufeng,et al. Pro.of the IEEE Interna-tional Conference on Micro Electro Mechanical Systems . 2010

[4]

Ultra-high precisionMEMS accelerometer. Dong Y,Zwahlen P,Nguyen A M,et al. Proceedings of IEEE,Transducers’’11 . 2011

[5]

Analysis of thermalhysteresis on micromachined accelerometers. Vandemeer J E,Li G,McNeil A C. Proceedings of IEEE Sensors . 2003

[6]

Accurate real timeinertial navigation device by application and processing ofarrays of MEMS inertial sensors. Tanenhaus M,Geis T,Carhoun D,et al. IEEE PositionLocation and Navigation Symposium(PLANS) . 2010

[7]

An analytic model ofthermal drift in piezoresistive microcantilever sensors. Loui A,Elhadj S,Sirbuly D J,et al. Journal of Applied Physics . 2010

← 1 →