基于表面等离子体波共振技术的精密角度传感器

被引：3

作者：

郭继华

邓为民

机构：

[1] 清华大学物理系!北京

来源：

清华大学学报(自然科学版) | 2000年 / 02期

关键词：

高分辨角度测量; 表面等离子体波共振; 角度调制;

D O I：

10.16511/j.cnki.qhdxxb.2000.02.004

中图分类号：

TH741.23 [];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

为解决纳米技术中体积紧凑、高分辨率的测角问题 ,分析了表面等离子体波共振 ( SPR)的相位和振幅特征 ,根据共振角附近 SPR的相位对入射角的高度敏感性 ,提出了基于表面等离子体波共振原理进行微小角度测量的方法 ,它具有测量分辨率高和体积紧凑的优点。研制了实验装置并进行了测角实验 ,测量分辨率达 1.4× 10 -7rad,长期稳定性偏差为 4.8× 10 -7rad。该方法可满足纳米机械的测角要求。

引用

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页数：4

共 5 条

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