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独联体国家的难熔金属氟化物化学气相沉积技术（上）
被引：11
作者：
李汉广
机构：
[1] 中南工业大学
来源：
关键词：
独联体国家；难熔金属；氟化物；化学气相沉积;
D O I：
暂无
中图分类号：
TF111.3 [];
学科分类号：
摘要：
介绍了独联体国家难熔金属氟化物化学气相沉积的工艺、设备及其产品的开发情况和研究进展。
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