多晶硅微机械零件的制作及测试

被引：2

作者：

杨岳，周兆英，叶雄英，李勇

机构：

[1] 清华大学精密仪器与机械学系

来源：

关键词：

微型机械，IC工艺，微动力学，表面硅微加工，精密工程;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH13 [机械零件及传动装置];

学科分类号：

080203 ;

摘要：

探讨利用硅表面微细加工工艺制造微型机械的方法，制作了徽涡轮、微传动齿轮、微螺旋弹簧和微凸轮传动机构等微机械结构，实现了齿轮的啮合传动、微弹簧扭转及微凸轮传动机构的运动。对多晶硅材料的机械物理性能，微机械系统动力学特性进行了测试分析。

引用

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